世偉洛克隔膜密封閥系列

DP  系列無彈簧隔膜閥

■ 適合超高純度應(yīng)用

■316L VIM-VAR  不銹鋼閥體

■低壓和高壓兩種閥型

■VCR®、卡套管對焊和模塊式表面安裝端接

■手動或氣動執(zhí)行機構(gòu)

DL  和 DS 系列隔膜閥

■  無填料, 全金屬殼體

■ 壓力從真空至 3500 psig (241 bar)

■  溫度從 –73 至 121°C (–100  至 250°F)

LD  系列隔膜閥

■ 工作壓力高達 300 psig (20.6 bar)

■ 開關(guān)、散裝氣體分配以及隔離服務(wù)

■ 鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料

■ 1/4  至 1 in.、12 至 25 mm  端接

DF  系列高流量, 無彈簧隔膜閥

■ 316L VAR  不銹鋼閥體

■ 工作壓力可達 300 psig (20.6 bar)

■ 1/4,  3/8  和 1/2 in. ；10 和 12 mm  端接

DRP 系列超高純含氟聚合物隔膜閥

■氣動和四分之一圈手動 2 通和 3 通型；帶有流量可調(diào)和旁通功能的氣動型和手動型

■改進型 PTFE  潤濕部件和聚丙烯執(zhí)行機構(gòu)

■符合針對超高純系統(tǒng)組件的 SEMI  標(biāo)準(zhǔn) F57- 0 3 01

■細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar® Super 300 端接標(biāo)準(zhǔn); 可提供 Flowell, 空間節(jié)約型和其它端接

■可提供定制閥組和組件

ALD系列原子層沉積用隔膜閥

■ 高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命 

■ Cv 0.27  到  0.62

■ 耐熱執(zhí)行器、耐溫高達 200°C（392°F）

■ 電子執(zhí)行器位置傳感選購件

■ 適合采用 316L VIM-VAR  不銹鋼閥體的超高純應(yīng)用場合

■ VCR®、卡套管對焊和模塊化表面安裝端接

典型型號
零部件號：6LVV-ALD3TFR4-P-C

描述：316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內(nèi)螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器

規(guī)格摘要

機體材料316L VIM-VAR

連接1規(guī)格1/4 in.

連接1類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

連接2規(guī)格1/4 in.

連接2類型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭

清潔工藝超高純工藝規(guī)范 (SC-01)