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方塊電阻測試儀

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產(chǎn)品型號R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC

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更新時間：2025-01-12 10:54:21瀏覽次數(shù)：70次

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上海納騰儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

Filmetrics的薄膜電阻測量設(shè)備開發(fā)源自于有著超過30年經(jīng)驗的KLA的薄膜電阻計量技術(shù)，并由20年臺式測量設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測量技術(shù)包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數(shù)量級范圍電阻率，包括：

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

Model	Description
R50-4PP	四探針測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-EC	非接觸渦流測試自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-200-4PP	四探針測試自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量
R50-200-EC	非接觸渦流測試自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量