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德國(guó)普發(fā)真空pfeiffer vacuum 超高真空殘余氣體分析儀器PrismaPro® QMG 250 M1

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用于過程監(jiān)測(cè)和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備德國(guó)普發(fā)真空pfeiffervacuum超高真空殘余氣體分析儀器PrismaPro®QMG250M1,1-100u,開放式離子源,鎢,I/O普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測(cè)定提供了各種不同的分析儀

詳細(xì)介紹

用于過程監(jiān)測(cè)和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備

德國(guó)普發(fā)真空pfeiffer vacuum 超高真空殘余氣體分析儀器PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O 

普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測(cè)定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng),在我們這里您將會(huì)找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPlus/Pro 是一個(gè)普遍適用的質(zhì)譜儀,其磁場(chǎng)軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測(cè)量速度快的特點(diǎn)。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓,同樣也可以檢測(cè)總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì),模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外,在研發(fā)領(lǐng)域也有無數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然,普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件,例如各種離子源陰極。

什么是質(zhì)譜儀

質(zhì)譜測(cè)量是一種可以用來測(cè)量原子和分子質(zhì)量的方法。通過這種方式測(cè)量化學(xué)混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場(chǎng)使離子加速,使得它們?cè)谄涓髯缘馁|(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測(cè)定氣體各種成分的分壓。每個(gè)質(zhì)譜儀包括一個(gè)離子源、一個(gè)質(zhì)量過濾器和一個(gè)檢測(cè)器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過濾器來區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng),四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測(cè)量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。

質(zhì)譜儀及其應(yīng)用

四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿,構(gòu)成了四極場(chǎng)。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線,形成一個(gè)場(chǎng)(因此命名為四極)。靜態(tài)電場(chǎng)使離子加速以后,離子飛過四極場(chǎng)。桿之間的四極場(chǎng)每次只會(huì)允許給定質(zhì)量的一個(gè)粒子通過,。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡(jiǎn)易版兩種型號(hào)供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬,這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域,包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。

超高真空中的殘余氣體分析

帶有二級(jí)電子倍增器的四極桿質(zhì)譜儀,為超高真空室內(nèi)的氣體成分定性分析提供Z大的檢測(cè)靈敏度。

對(duì)于高真空下的殘余氣體分析,必須只檢測(cè)到極少量的氣體。普發(fā)真空殘余氣體分析儀里的二級(jí)電子倍增器因此保證了四極質(zhì)量過濾器提供的小型離子電流較高的放大率。所有使用的材料都經(jīng)過精心挑選,用于超高真空并能承受較高的烘烤溫度。

一些離子源可用于不同的應(yīng)用,包括具有極低釋氣速率的柵網(wǎng)離子源。

PrismaPro® QMG 250 M1, 1-100 amu

模塊化結(jié)構(gòu)的緊湊型質(zhì)譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇:具有靈敏度和線性的開放式離子源,適用于殘余氣體分析和 HV 與真空范圍內(nèi)分析性任務(wù)。適用于與進(jìn)氣系統(tǒng)接合的氣密離子源。適用于直接進(jìn)氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對(duì)真空內(nèi)殘余氣體分析,具有極低脫氣率和解吸率。

PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源

  • PrismaPro 緊湊型質(zhì)譜儀

  • 針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件,可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示

  • 點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷

  • 測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單

  • 指示極限低

  • 網(wǎng)絡(luò)通過以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)

    陰極加熱溫度:分析儀 [攝氏度]連接E/A 接口訂單號(hào)
    300
    PT M16 111 210
    300
    PT M16 111 211
    釔銥300
    PT M16 112 210
    釔銥300
    PT M16 112 211

    PrismaPro® QMG 250 M1, 1 - 100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O 選項(xiàng): 標(biāo)準(zhǔn)

    概述
    • 針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件,可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示

    • 點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷

    • 測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單

    • 指示極限低

    PT M16 111 210

    技術(shù)參數(shù)
    供應(yīng): 電壓100 – 240 V AC
    分辨率,10% 峰值高度時(shí)可調(diào)節(jié)0.5 - 2.5 u
    加熱溫度:分析儀300 攝氏度
    安裝方向任意
    對(duì) Ar 的靈敏度:法拉第5 · 10-4 A/hPa
    對(duì)于相鄰物體的輸入:40 比 4110 百萬分率
    峰值比的可再現(xiàn)性0.5 %
    工作溫度:分析儀150 攝氏度
    工作溫度:電氣設(shè)備5 – 50 攝氏度
    探測(cè)器C-SEM/Faraday
    接口Ethernet
    Z大工作壓力:C-SEM5 · 10-5 百帕
    Z大工作壓力:法拉第5 · 10-4 百帕
    桿系統(tǒng):直徑6 毫米
    桿系統(tǒng):長(zhǎng)度125 毫米
    檢測(cè)極限:C-SEM (hPa)3 · 10-15 百帕
    溫度:儲(chǔ)存-25 – 70 攝氏度
    離子源開,2 陰極
    繼電器:數(shù)量1 件
    質(zhì)量范圍1 – 100 u
    輸入數(shù)字2x, 24 V
    輸入模擬1x ± 10 V / 12 Bit
    連接
    連接法蘭(入口)DN 40 CF-F
    重量3.2 千克
    陰極
    尺寸

    尺寸圖-TIM-RS


    關(guān)鍵詞:氣體分析儀器 過濾器
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