矩形門閥 Large Door Valve
· 適用于大型化的FPD基板
· 低震動、低發(fā)塵,閥體的運動構(gòu)造全在空氣一側(cè)配置,閥板橫向運動不會出現(xiàn)滑動
· 不受限于閥門的尺寸,可以還原設備設計者的設計理念
· 低震動、低發(fā)塵,閥體的運動構(gòu)造全在空氣一側(cè)配置,閥板橫向運動不會出現(xiàn)滑動
· 不受限于閥門的尺寸,可以還原設備設計者的設計理念
類型: | 傳輸閥 | |
材質(zhì): | 鋁合金/不銹鋼 | |
尺寸: | 適用G6-G11 | |
漏率: | 1.3E-10 Pa·m3/s | |
使用溫度: | ≤90°C(驅(qū)動部≤60°C) | |
操作壓力: | 0.5~0.6MPa | |
壽命: | 100萬次 | |
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